三氟化氯ClF3的物理性質(zhì)
- 發(fā)布時(shí)間：2022-09-26
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三氟化氯 - 基本信息
| 中文名 |
三氟化氯 |
| 英文名 |
Chlorine trifluoride |
| 別名 |
三氟化氯 |
| 英文別名 |
CHLORINE TRIFLUORIDE |
| CAS |
7990-91-2 |
| 化學(xué)式 |
ClF3 |
| 分子量 | 92.45 |
| 物化性質(zhì) | 理化性質(zhì) 三氟化氯（ClF3）是一種很強(qiáng)氧化劑和氟化劑。它能大多數(shù)有機(jī)和無(wú)機(jī)材料甚至塑料反應(yīng)，可以使許多材料不接觸火源就燃燒。這些反應(yīng)通常很劇烈，在某些情況下甚至?xí)ā?它與一些金屬反應(yīng)生成氯化物和氟化物，與磷反應(yīng)生成三氯化磷和五氟化磷，而與硫反應(yīng)生成二氯化硫和四氟化硫。ClF3也與水劇烈反應(yīng)，水解產(chǎn)生有毒物質(zhì)，例如氟化氫。H2S在室溫下與ClF3混合就會(huì)爆炸。 |
| 產(chǎn)品用途 | 用途 三氟化氯（CIF3）是一種用于清洗化學(xué)氣相沉積腔室及其管道清洗的重要的電子特氣。與其他含氟氣體（如NF3、C2F6和CF4）不同，三氟化氯在室溫下就能夠與半導(dǎo)體材料進(jìn)行反應(yīng)，因此它可以清洗冷壁CVD腔室。用三氟化氯進(jìn)行清洗是一種化學(xué)刻蝕過(guò)程，腔室的熱量足以使其分解并與半導(dǎo)體材料反應(yīng)，不存在等離子體那樣的高能離子轟擊過(guò)程，對(duì)設(shè)備的損壞可以降低到最低限度。相比等離子裂解制氟工藝，三氟化氯清洗工藝簡(jiǎn)單而高效，且清洗效果更好。 |
| 危險(xiǎn)品運(yùn)輸編號(hào) | UN 1749 2.3 |
| Hazard Class | 2.3 |
