硅烷SiH4，又叫四氫化硅，是一種無色、與空氣反應(yīng)并會(huì)引起窒息的化學(xué)氣體。是一種易燃的，有毒的危害性氣體。

硅烷作為一種提供硅組分的氣體源，可用于高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質(zhì)硅、各種金屬硅化物。因其高純度和能實(shí)現(xiàn)精細(xì)控制，已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體。硅烷應(yīng)用于微電子、光電子工業(yè)， 用于太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層， 并且是迄今上的大規(guī)模粒狀高純度硅的中間產(chǎn)物。硅烷的應(yīng)用還在不斷出現(xiàn), 包括用于陶瓷、復(fù)合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等，成為許多新、新材料、新器件的基礎(chǔ)。硅烷又以它的自燃、爆炸性而著稱。硅烷有寬的自發(fā)著火范圍和的燃燒能量，決定了它是一種高危險(xiǎn)性的氣體。

硅烷氣體通常與空氣接觸會(huì)引起燃燒并放出很濃的白色的無定型二氧化硅煙霧。它對健康的首要危害是它自燃的火焰會(huì)引起嚴(yán)重的熱灼傷，如果嚴(yán)重甚至?xí)旅?。如果火焰或高溫作用在硅烷鋼瓶的某一部分?huì)使鋼瓶在安全閥啟動(dòng)之前爆炸。如果泄放硅烷時(shí)壓力過高或速度過快會(huì)引起滯后性的爆炸。泄漏的硅烷如沒有自燃會(huì)非常危險(xiǎn)，不要靠近。處理緊急情況的人員必須要有個(gè)人防護(hù)設(shè)備和適應(yīng)當(dāng)時(shí)情況的防火保護(hù)。

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