專利摘要

本發(fā)明公開了一種八氟丙烷的制備方法，步驟依次包括：

（1）氟氫化鉀經(jīng)電解后得到氟氣混合氣，并依次進行除塵、冷凝、吸附處理，純化為原料氟氣；

（2）將所述原料氟氣加壓后與惰性氣體均勻混合得到混合氣；

（3）將所述混合氣通入裝有二氟化鈷的反應(yīng)器內(nèi)反應(yīng)得到三氧化鈷；

（4）反應(yīng)完成后，對所述反應(yīng)器及相關(guān)管路管件進行吹掃及抽真空置換處理；

（5）將六氟丙烯通入反應(yīng)器內(nèi)與所述三氟化鈷反應(yīng)得到含有雜質(zhì)的八氟丙烷；

（6）對八氟丙烷進行冷卻、吸附處理；將八氟丙烷通過壓縮機進入精餾塔進行精餾處理。采用本發(fā)明，可降低雜質(zhì)對反應(yīng)器的腐蝕，抑制六氟丙烯裂解、自聚、加成等不良副反應(yīng)，制備高純度的八氟丙烷。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及化工領(lǐng)域，尤其涉及一種八氟丙烷的制備方法。

背景技術(shù)

八氟丙烷，常用作制備半導(dǎo)體器件工藝中的蝕刻或清洗氣體?，F(xiàn)有關(guān)于使用六氟丙烯作為原料直接制備八氟丙烷的方法有多種:日本專利JP-B-62-61572指出，在六氟丙烯和氟氣之間進行直接氟化反應(yīng)制備八氟丙烷；日本專利JP-B-1-45455指出，在催化劑存在下，使六氟丙烯與氟反應(yīng)制備八氟丙烷；日本專利JP-B-62-54777指出，將六氟丙烯與高級(High-Order)金屬氟化物反應(yīng)制備八氟丙烷；日本專利JP-B-62-61682指出，在使用惰性氣體和反應(yīng)產(chǎn)物氣體稀釋的情況下，使六氟丙烯與氟氣反應(yīng)制備八氟丙烷；日本專利JP-B-62-61115指出，在氟化氫中使六氟丙烯電解氟化以制備八氟丙烷。