乙硼烷混氮?dú)?/h2>

乙硼烷混氮?dú)?                 B2H6/N2 Mixture
組分                                Components	含量  Content
乙硼烷                             B2H6, 5N	≥0.1%
氮                                    N2，6N	Balance （平衡氣）
組分                                 Components	規(guī)格  Specification
乙硼烷                             Diborane（B2H6）5N	99.999%
氮                                    Nitrogen (N2)	≤2 ppmv
氧                                    Oxygen (O2)	≤0.5 ppmv
二氧化碳                         Carbon Dioxide (CO2)	≤2 ppmv
甲烷                                Methane (CH4)	≤4 ppmv
氫                                    Hydrogen (H2)	≤100 ppmv
三氟化硼                         Boron trifluoride（BF3）	≤ 50ppmv
丁硼烷                             Teraborane(B4H10)	≤180 ppmv
戊硼烷                             Pentaborane(B5H9）	≤10 ppmv
戊硼烷                             Pentaborane（B5H11）	≤10 ppmv
氮                                    Nitrogen（N2）6N	99.9999%
水                                    Water(H20)	≤0.5 ppmv
氧+氬                              Oxygen+Argon (O2+Ar)	≤0.5 ppmv
甲烷                                Methane (CH4)	≤0.1 ppmv
氫                                    Hydrogen (H2)	≤0.1 ppmv
一氧化碳                         Carbon Monoxide （CO）	≤0.1 ppmv
二氧化碳                         Carbon Dioxide (CO2)	≤0.1 ppmv
包裝規(guī)格
鋼瓶規(guī)格                         Cylinder Size	47L
充裝量                             Fill Weight (kgs)	100 bar
閥門(mén)                                Valve Connection	CGA350/DISS632
尺寸                                Cylinder Dimensions(cm)	23x140
產(chǎn)品用途：用于半導(dǎo)體、太陽(yáng)能電池等領(lǐng)域

湖南遠(yuǎn)創(chuàng)氣體有限公司供應(yīng)湖南乙硼烷混氮?dú)猓峁└鞣N大小鋼瓶包裝：4L，8L，40L，可根據(jù)客戶(hù)要求配置，純度：99%~99.999%，乙硼烷混氮?dú)?，價(jià)格優(yōu)質(zhì)。歡迎致電詳細(xì)咨詢(xún)：18569052610。

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