六氟乙烷，又稱全氟乙烷，是乙烷中六個氫原子全部被氟原子取代后的產(chǎn)物，是鹵代烴（化學(xué)式：C2F6），亦是烴類化合物乙烷所對應(yīng)的全氟化合物，是一種不易燃的氣體，難溶于水，微溶于醇。六氟乙烷可用于一種具多功能的蝕刻技術(shù)，常見于半導(dǎo)體之生產(chǎn)。它可用于金屬硅化物及金屬氧化物并相對其金屬基質(zhì)的選擇性蝕刻。叧外，它亦用于蝕刻硅上的二氧化硅。六氟乙烷可連同三氟甲烷一起用于制冷劑R508A（六氟乙烷占61%）及R508B（六氟乙烷占54%）。

產(chǎn)品詳情

產(chǎn)品純度

99.999%

產(chǎn)品包裝

規(guī)格齊全，按客戶要求配置。

產(chǎn)品用途

1、電子工業(yè)：六氟乙烷作為等離子蝕刻工作氣體在發(fā)展微電子工業(yè)方面起著重要作用，是加工超大規(guī)模集成塊工藝中所必需的介質(zhì)；

2、制冷空調(diào)業(yè)：六氟乙烷右用做制冷和空調(diào)的冷媒。六氟乙烷還可與HFC-23組成不損害臭氧層的共沸劑R-508B,R-508B用做多級壓縮循環(huán)中在低溫段替代CF-13和R-503的替代物；

3、化學(xué)工業(yè)：六氟乙烷可用做化學(xué)反應(yīng)中的添氟劑；

4、電力工業(yè)：六氟乙烷可用做電氣設(shè)備的絕緣劑和高介電強度冷卻劑；

5、其它：六氟乙烷可用于器件表面清洗，還可用于光纖生產(chǎn)。